CN104635299B 一种平面光波导的湿法刻蚀方法及制作方法 （四川飞阳科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104635299B公告日2018.08.21

(21)申请号201510093910.3

(22)申请日2015.03.03

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104635299A

(43)申请公布日2015.05.20

(73)专利权人四川飞阳科技有限公司

地址610209四川省成都市双流县西南航

空港经济开发区长城路一段185号

(72)发明人向舟翊李朝阳

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227代理人王宝筠

(51)Int.CI.

GO2B6/126(2006.01)

C23F1/02(2006.01)

(56)对比文件

CN104101950

CN101114056

JPCN103698905TW201014482审查员钟杰

权利要求书1页

A,2014.10.15,A,2008.01.30,

A,1999.07.21,A,2014.04.02,

A,2010.04.01,

说明书5页附图5页

(54)发明名称

一种平面光波导的湿法刻蚀方法及制作方