CN104576324A 碳基电子的制作及互连方法 （上海大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104576324A

(43)申请公布日2015.04.29

(21)申请号201410769301.0

(22)申请日2014.12.14

(66)本国优先权数据

201310717088.42013.12.21CN

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人刘建影

(74)专利代理机构上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)31260

代理人成丽杰

(51)Int.CI.

HO1L21/04(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图12页

(54)发明名称

碳基电子的制作及互连方法

出壁装杰营类热一

CN104576324A本发明涉及微电子制作及互连领域，公开了一种碳基电子的制作及互连方法。首先将制作好的碳纳米管束转移至第一硅片中的硅垂直通孔内，其中，每个碳纳米管束对应一个所述硅垂直通孔；接着在每三个碳纳米管束之间的第一硅片的上表面制作一个水平的碳基晶体管；最后将每三个碳纳米管束中的每个碳纳米管束分别与碳基晶体管的源极、漏极和栅极互连，得到碳基电子。与现有技术相比，不仅实现了全碳电子的制