CN104624462A 一种用于超声扫描显微镜的可变频变焦换能器制作方法 （北京科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104624462A

(43)申请公布日2015.05.20

(21)申请号201410842593.6

(22)申请日2014.12.30

(71)申请人北京科技大学

地址100083北京市海淀区学院路30号

(72)发明人肖会芳陈丹徐金梧杨荃黎敏

(74)专利代理机构北京金智普华知识产权代理有限公司11401

代理人皋吉甫

(51)Int.CI.

B06B1/06(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种用于超声扫描显微镜的可变频变焦换能器制作方法

(57)摘要

CN104624462A本发明涉及超声扫描显微镜检测领域和超声波成像领域，尤其是一种用于超声扫描显微镜的可变频变焦换能器制作方法，其特征在于：1)利用微机械加工工艺在单晶硅上获得曲率半径不同的五个自聚焦曲面；2)采用低压化学气相沉积法分别在上述自聚焦曲面上沉积五种不同厚度的Zn0压电薄膜晶片，薄膜之间相互分开；3)通过单独引出的电极选择性激励各Zn0压电薄膜晶片，获得频率可调的超声波；4)将五种不同厚度的压电薄膜晶片封装为一个整体，并用SAM电子连接器连接形成变频变