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微型压电器件的研究现状文献综述

目录

TOC\o1-3\h\u7562微型压电器件的研究现状文献综述 1

281321.1.1微型压电超声换能器 2

37361.1.2微型压电加速度计及力学传感器 4

118721.1.3径向场型压电膜片 7

（1）压电基本原理正压电效应是利用外力作用于压电结构产生变形，进而引起压电材料内部的正负电荷中心分离，从而产生极化电压ADDINEN.CITEEndNoteCiteAuthorKhaligh/AuthorYear2009/YearRecNum208/RecNumDisplayTextstyleface=superscript[40,41]/style/DisplayTextrecordrec-number208/rec-numberforeign-keyskeyapp=ENdb-id=s9ex25exrf2923ef9pb5dve9swewd9rzp2r2208/key/foreign-keysref-typename=JournalArticle17/ref-typecontributorsauthorsauthorKhaligh,Alireza/authorauthorZeng,Peng/authorauthorZheng,Cong/author/authors/contr