CN115182038B 碳化硅晶体生长装置、系统及方法 (宁波恒普技术股份有限公司).docxVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.05万字
  • 约 31页
  • 2026-03-28 发布于山西
  • 举报

CN115182038B 碳化硅晶体生长装置、系统及方法 (宁波恒普技术股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115182038B

(45)授权公告日2025.06.17

(21)申请号202210981679.1

(22)申请日2022.08.16

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115182038A

(43)申请公布日2022.10.14

(73)专利权人宁波恒普技术股份有限公司

地址315300浙江省宁波市慈溪高新技术

产业开发区新兴一路365号

(72)发明人周荣国邹路刘鹏

(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569专利代理师孙玲

(51)Int.Cl.

C3

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档