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计测技术精密测量新技术·37·

doi：10.11823/j.issn.1674-5795.2025.03.03

利特罗型光栅干涉仪的元件定位误差分析

赵金辉，胡源*

（长春理工大学光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室，吉林长春130022）

摘要：针对利特罗型光栅干涉仪的系统误差研究缺少更深入的量化数据的问题，对元件定位精度引起的

利特罗型光栅干涉仪系统误差进行了研究，即分析光栅绕x、y、z轴旋转以及反射镜绕y轴旋转时导致的额外光

程差所造成的系统误差对干涉仪的位移测量影响。建立光栅及反射镜绕轴旋转时的光程差变化引起的相关误差

的数学模型，进行定量分析，并通过实验验证该数学模型的准确性。结果表明：光栅及反射镜绕x、z轴旋转时

不会产生额外光程差；光栅绕y轴旋转时会产生系统误差，且误差会随着光栅常数和旋转角度的增大而增大；

反射镜绕y轴旋转时，只有当两反射镜的旋转角度不同时才会产生误差，且误差会