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光学元件表面缺陷检测

摘要

光学元件作为实现光学功能的载体，被广泛应用在一些重要领域，为各类光学仪器的开发和使用起到了关键作用。由于光学元件表面上的缺陷造成光的散射和能量的损耗，对光学系统性能影响较大，元件质量的检测尤为重要。本文针对传统目测法检测效率低、不确定性大等缺点，对精密平面光学元件表面缺陷检测作出了研究。

首先，基于显微散射成像检测技术，在暗背景下得到清晰缺陷亮像。由于照明系统是检测系统的重要组成部分，所以对光源照明系统进行了优化设计，即采用LED扩展的点光源，在高亮档的光强下以斜入射65°的方式照射光学元件表面，为后续图像处理奠定了基础