CN115867688B 控制蒸发源材料的磁通分布的方法、测量在源表面上反射的电磁辐射的检测器及利用电磁辐射进行热蒸发的系统 （马克思-普朗克科学促进协会）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115867688B

(45)授权公告日2025.05.27

(21)申请号202080102628.6

(22)申请日2020.06.30

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115867688A

(43)申请公布日2023.03.28

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.29

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2020/0683882020.06.30

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2022/002367EN2022.01.06

(73)专利权人马克思-