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宏微复合驱动XY工作台微动部分的精确建模与控制方法研究.pdf

宏微复合驱动XY工作台微动部分的精确建模与控制方法研究.pdf

    摘要

    摘要

    XY工作台是高端制造装备的核心功能单元，其大行程、高精度与动态响应的

    协同提升已成为精密加工领域的技术瓶颈之一。目前，宏微复合驱动技术成为解决

    上述技术瓶颈的关键，其采用宏、微两级复合驱动，宏动主要实现大行程位移目标，

    而微动主要用于补偿宏动的定位误差，宏微复合驱动XY工作台的定位精度主要

    由微动的定位精度决定。因此，本文以课题组设计的宏

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