刚-柔复合节流径向静压气体轴承性能及实验研究.pdfVIP

摘要

气体轴承凭借其高精度、无摩擦、低污染等显著优势，已成为现代精密及超精密机

械设备的重要支撑部件。然而其采用的润滑介质为气体，导致承载力低、刚度差等不足，

严重限制了气体轴承的发展与应用。针对以上不足，本文提出一种刚-柔复合节流径向静

压气体轴承新结构，采用柔性材料以优化其节流器及均压腔部分区域性能。本文基于气

体润滑理论，结合双向流-固耦合分析方法，研究工况和结构参数对轴承流场流态、静态

性能以及动态性能的影响规律；最后，加工制备轴承并搭建实验台进行测试，通过实验

验证仿真分析的准确性，并为该类型轴承的设计与优化提供了理论支持与参考。具体研

究内容如下：

(1)刚-柔复合节流径向静压气体轴承结构设计及流-固耦合建模。在刚性节流器的基

础上，设计一种具有环形单排节流孔、柔性结构节流器和均压腔的刚-柔复合节流径向静

压气体轴承结构，以提升轴承的性能。基于气体润滑理论，结合双向流-固耦合分析方法

建立轴承的静态和动态耦合分析模型。

(2)基于双向流-固耦合分析方法，研究刚-柔复合节流径向静压气体轴承的静态性

能。根据建立的数学模型，研究轴承气膜厚度、偏心率和供气压力对柔性结构挠度变形

量的影响规律，并深入分析这些参数对流场特性的调控作用；探究