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材料研究方法引言第1页，共49页。

第一章引言

1．2材料科学研究方法第2页，共49页。

第一章引言

1．2材料科学研究方法

显微结构表征包括观察组织的形貌、确定其原子排列方式和分析化学组分。分析方法可按观察形貌的显微镜，测定结构的衍射仪及分析成分的各种谱仪进行分类。第3页，共49页。

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1．2材料科学研究方法

A形貌观察光学显微术和金相学是在微米尺度观察材料组织结构的最常用的方法。第4页，共49页。

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1．2材料科学研究方法

扫描式和透射式电子显微镜把观察显微组织的尺度推进到纳米层次。扫描电镜已成为材料断口形貌分析的主要工具，由于分辨率改进到纳米尺寸，近年来已经作为质量监控设备安装在大规模集成电路器件的生产线上。第5页，共49页。

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1．2材料科学研究方法

透射电镜加上X射线能谱仪，电子能量损失谱仪和高亮度、高相干性的场发射枪电子源，使它成为能在纳米尺度给出材料组织形貌、结构和成分的综合仪器，功能强大。场离子显微镜利用针尖端表面原子层轮廓边缘的电场不同，借助惰性气体离子轰击荧光屏可以得到针尖正面原子排布的投影像，达到0.2nm的分辨率。可以直观显示晶界或位错露头处原子排列及气体原子在表面的吸附行为。第6页，共49页。

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