可见_近红外高数值孔径多波段复消色差显微系统设计.pdfVIP

摘要

随着半导体芯片、基因测序和生命医疗等领域的发展，对显微光学系统的需求日益提

高，尤其是在数值孔径、视场、成像光谱范围、工作距离和成像质量方面。本文以半导体

检测及标定为应用背景，设计了一款宽波段、高数值孔径的显微成像系统。本文针对现有

显微系统在半导体加工检测中的瓶颈问题，如非浸液式显微系统数值孔径难以扩大、工作

距离受限以及宽波段成像能力不足等，提出了一种大数值孔径、宽波段且具有一定工作距

离的显微系统设计方案。研究内容包括：

1

（）针对国内外显微系统的核心厂家和各个科研机构的研究进展，总结了显微系统

目前的设计瓶颈。结合本课题的具体使用场景和各项核心指标说明了本次设计的必要性和

迫切性。

2

（）分析显微系统的组成及理论基础，探讨显微物镜的色差、二级光谱、场曲平化

及初级、高级像差的校正方法。利用初级像差的赛德波像差表达方式结合光学设计软件对

初级、高级像差进行表达。并且总结了显微系统常见的照明方式，分析了各项照明方式的

优缺点。为后续设计显微系统的成像和照明部分进行理论铺垫。

3

（）根据像差校正原理，分别进行了显微物镜和管镜的光学系统设计。并且将显微

物镜和管镜进行了拼接校正，