半导体厂务项目工程管理课件：化学品种类介绍.pptx

半导体厂务项目工程管理

化学品种类介绍

【任务背景】湿电子化学品

湿电子化学品，又称超净高纯试剂或工艺化学品，指主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符合严格标准的化学试剂。

湿电子化学品是化学试剂产品中对品质、纯度要求最高的细分领域，是纯度极高的特种化学试剂。一般要求控制杂质颗粒粒径低于0.5µm，金属杂质含量低于ppm（10-6）级。

【任务背景】湿电子化学品

【任务实施】湿电子化学品的分类

1.通用性化学品

通用性化学品又称超净高纯溶剂，常用于湿法工艺制程中的清洗、光刻、腐蚀等工序。

分类

化学品

酸类

氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸、乙酸等

碱类

氨水、氢氧化钠、氢氧化钾等