半导体厂务项目工程管理课件：净化室系统介绍.pptx

半导体厂务项目工程管理

净化室系统介绍

【任务背景】为什么需要净化室

由于集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，在制造的过程中必须防止外界杂质污染源，这些污染源可能会造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。

所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。

【任务背景】洁净室定义与构成

洁净室，作为一种特殊设计的空间，其核心目标在于通过精密设计与严格的环境参数控制，最大限度地减少室内诱入、产生及滞留的粒子，并同时对温度、湿度、压力等关键参数进行精准调控，以满足高品质工作环境的需求。

【任务背景】净化室系统的组成

【任务背景】净化室系统