原创力文档半导体厂务项目工程管理
清扫真空系统
清扫真空系统（HV）
清扫真空系统
清扫真空系统
气环风机：
例ElmoRietschle2BH1930气环风机
清扫真空系统
清扫真空系统
清扫真空系统
TIPS：正确安装和使用清扫真空设备
①外部环境上：
明亮少尘、通风性好的建筑物内
机组周围应留有足够的空间
集尘罐的拖出方向应留有足够大的空间
能提供稳定的、足够压力范围的压缩空气
清扫真空系统
TIPS：正确安装和使用清扫真空设备
②机组基座：
必须安装在水平的地板或混凝土基座上
将干净的压缩空气接至机组的压缩空气总管
将吸气管接至机组上相应的真空总管上
清扫真空
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