硬脆材料与金属微纳结构的飞秒激光直写及调控研究.pdf

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摘要

摘要

飞秒激光直写作为一种先进的微纳结构加工技术,己被广泛应用于聚合物,

金属,及半导体、玻璃等硬脆材料的微纳加工。近年来,玻璃等硬脆材料微纳

结构在光学、化学催化、生物传感、信息存储等领域获得重要应用。虽然飞秒

激光直写硬脆材料技术已被广泛应用,但是其相互作用机理以及所加工的不同

形貌微纳结构的演化过程与调控机制仍然缺乏研究。柔性金属微纳结构在生物

传感、医疗电子、穿戴设备等方面具有广阔的发展前景,但是目前所报道的在

柔性

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