CN120076706A 加热电极制备方法及半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120076706A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510199367.9

(22)申请日2025.02.21

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人蒋兴宇沈涛张德群董云鹤

(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理

有限公司11112

专利代理师彭瑞欣王婷

(51)Int.Cl.

H10N70/00(2023.01)

H10N70/20(2023.01)

H10B63/10(2023.01)

H01J37/32(2006.01)