2026年吴健雄学院(电子信息)微纳电子器件试题及答案
一、单项选择题(每小题2分,共20分)
1.下列不属于MOSFET短沟道效应核心表现的是()
A.阈值电压随沟道长度减小而降低
B.亚阈值斜率退化,开关比下降
C.载流子迁移率随沟道宽度减小而线性降低
D.漏致势垒降低(DIBL)效应加剧
答案:C
解析:短沟道效应是指当MOSFET沟道长度缩小到与耗尽层宽度可比拟时出现的一系列非理想效应,核心表现包括阈值电压漂移、亚阈值斜率退化、DIBL效应等。载流子迁移率降低主要与沟道电场、散射机制相关,并非短沟道效应的核心表现,且迁移率随沟道宽度减小的变化并非线性规律。
2.光刻技术
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