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钛硅共掺杂类金刚石碳膜：设计、制备与超低摩擦性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，类金刚石碳膜（Diamond-LikeCarbonFilms，DLC）凭借其独特的性能优势，近年来受到了广泛的关注和深入的研究。DLC膜是一种以sp2和sp3杂化键结合的非晶碳膜，它同时具备了金刚石和石墨的部分特性，如高硬度、良好的化学稳定性、低摩擦系数、高耐磨性、优异的光学性能以及生物相容性等。这些优异的综合性能使得DLC膜在众多领域展现出巨大的应用潜力，例如机械制造、航空航天、汽车工业、电子器件、生物医学以及光学仪器等。

在机械制造行业，零部件之间的摩擦和磨