CN120040170A 一种具有低温度依赖性的静电卡盘陶瓷制备方法、静电卡盘陶瓷及静电卡盘 (重庆臻宝半导体材料有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-23 发布于重庆
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CN120040170A 一种具有低温度依赖性的静电卡盘陶瓷制备方法、静电卡盘陶瓷及静电卡盘 (重庆臻宝半导体材料有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120040170A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510201434.6B32B37/10(2006.01)

B32B38/00(2006.01)

(22)申请日2025.02.24

H01L21/683(2006.01)

(71)申请人重庆臻宝半导体材料有限公司

地址400000重庆市九龙坡区西彭镇森迪

大道8号1幢

(72)发明人张迎春王怀志陈立航蒋晓钧

(74)专利代理机构重庆嘉品知识产权代理事务

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