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CN119422441A 等离子体处理装置和等离子体处理方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

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  • 2026-04-23 发布于山西
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CN119422441A 等离子体处理装置和等离子体处理方法 （东京毅力科创株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119422441A

    (43)申请公布日2025.02.11

    (21)申请号202380049059.7

    (22)申请日2023.06.20

    (30)优先权数据

    2022-1042742022.06.29JP

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.23

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/JP2023/0228152023.06.20

    (87)PCT国际申请的公布数据

    WO2024/004766JA2024.01.04

    (71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

    (72)发明人舆

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