精密加工中的测量技术.ppt

精密加工中的测量技术;第1节精密测量技术概述;影响圆度仪测量精度因素

多齿分度盘由两个直径、齿数和齿形均相同的上、下端齿组成，当上、下两齿盘的齿被迫啮合时，便自动定心。

例如制造超大规模集成电路，目前半导体工艺的典型线宽为0.

s(θ)为被测工件的轮廓形状误差。

2）两外表面的夹角和外锥角的测量（用两直径相等的圆柱和量块测量）

2）利用圆周360度封闭的原理，用两个多齿分度盘互检标定

新定义的内容：米是光在真空中在1/299792458s的时间间隔内所进行的路程长度。

对高精度测量平台用电子水平仪、自准直光管或双频激光干涉仪，测出平台的水平倾角，经过数据处理，可得到平台各处不平面度误差的具体数值。

多齿分度盘由两个直径、齿数和齿形均相同的上、下端齿组成，当上、下两齿盘的齿被迫啮合时，便自动定心。

第4节直线度、平面度和垂直度的测量

73xKr86的波长。

外圆柱面可磨到很高圆柱度，水平放在V形支架内，可旋转以校验端面和外圆柱面的垂直度，容易达到两端面的高度平行。

第6节圆度和回转精度的测量

第6节圆度和回转精度的测量

圆度仪的工作原理及类型;一、长度基准和米定义;第2节长度基准;第2节长度尺寸测量;第3节测量平台;第3节测量平台;第4节直线度、平面度和垂直度的测量;第4节直线度、平面度和垂直度的测量;第4节直线度、平面度和垂直度的测量;第4节直线度、平