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三轴微机电陀螺仪在微惯性测量中的关键技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，微惯性测量系统（MIMS）作为一种能够精确测量物体在空间中的加速度、角速度等物理量的关键设备，广泛应用于航空航天、汽车电子、消费电子、工业控制以及生物医疗等诸多领域，发挥着不可或缺的重要作用。在航空航天领域，它为飞行器的导航、姿态控制和轨道确定提供关键数据，确保飞行器能够按照预定轨迹安全、准确地飞行；在汽车电子领域，它被用于车辆稳定性控制系统、导航系统和自动驾驶辅助系统，有效提高了车辆行驶的安全性和舒适性；在消费电子领域，智能手机、平板电脑、虚拟现实（VR）/增强现实（AR）设备