CN120221390A 用于晶圆的清洗方法以及晶圆 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120221390A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510219577.X

(22)申请日2025.02.26

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安欣芯材料科技有限公司

(72)发明人夏新超张树星左斌

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事

务所(普通合伙)61253

专利代理师沈寒酉李宁

(51)Int.Cl.

H01L21/02(2006.01)

H10D62/60(2025.01)

H10D62/57(2025.