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CN119685748A 一种利用旋转掩膜生长高通量薄膜材料的方法 （上海大学）.pdfVIP

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  • 2026-04-27 发布于重庆
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CN119685748A 一种利用旋转掩膜生长高通量薄膜材料的方法 （上海大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119685748A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202510213512.4

    (22)申请日2025.02.26

    (71)申请人上海大学

    地址200444上海市宝山区上大路99号

    (72)发明人李易璋张欣怡陆佳宜杨泰然

    向娟黄琦李蝉羽孙强

    (74)专利代理机构西安铭泽知识产权代理事务

    所(普通合伙)61223

    专利代理师吴莹

    (51)Int.Cl.

    C23C14/04(2006.01)

    C23C14/24(2006.01)

    C23C14/54(2006.01)

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