CN119452061A 氮化硅蚀刻组合物和方法 （恩特格里斯公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119452061A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202380044925.3

(22)申请日2023.05.08

(30)优先权数据

63/341,8012022.05.13US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.04

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0213422023.05.08

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/219943EN2023.11.16

(71)申请人恩特格里斯公司

地址美国马萨诸塞州

(72)发明人