CN119480614A 一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统 （合肥中科微波科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119480614A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411547845.2

(22)申请日2024.11.01

(71)申请人合肥中科微波科技有限公司

地址230000安徽省合肥市高新区蜀麓社

区服务中心潜水东路3号3楼

(72)发明人李汉国

(74)专利代理机构合肥金律专利代理事务所(普通合伙)34184

专利代理师段晓微

(51)Int.Cl.

H01J61/56(2006.01)

H01J65/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种固态微波源等离子体光源调制方法和

系统

(57)摘要

CN119480614A本发明公开了一种固态微波源等离子体光源调制方法和系统，利用固态微波源容易低压控制的优势，以工作频率为中心，向两边展宽一定宽度的频谱范围，在微波光源发光时，实际工作频率的频点，在此中心频点展宽的频谱范围内，以一定的周期产生高频振荡，使频率点不断改变；在微波等离子体光源的启动阶段，在频谱展宽的情况下，使用连续波工作模式。在稳定弧光放电阶段，达到热平衡时，在频谱展宽的同时叠加上具有一定占空比的脉冲功率调制波形，通过改变占空比和调制频率，实现同等输入电功率的条件下，降低电磁辐射和提高微波光源发光