半导体厂务主管笔试真题及答案.docxVIP

半导体厂务主管笔试真题及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每题只有一个正确答案，请将正确选项字母填在括号内）

1.在半导体制造中，对纯水电阻率要求最高的工艺通常是指？

A.清洗阶段

B.光刻阶段

C.化学气相沉积（CVD）阶段

D.腐蚀阶段

2.对于半导体厂区常用的载气，如氮气，其纯度通常要求达到什么水平？

A.95%以上

B.99%以上

C.99.999%（5N）以上

D.99.9999%（6N）以上

3.在电力系统中，UPS（不间断电源）的主要作用是？

A.提供整个工厂的全部电力

B.在市电中断时提供短时备用电源，确保关键负荷稳定运行

C.提升工厂用电功率因数

D.为发电机启动提供电力

4.冷却水系统在半导体厂中主要用于？

A.洁净室空气冷却

B.带有散热器的设备的冷却

C.提供工艺用水

D.压缩空气冷却

5.压缩空气系统中的“露点”控制主要为了防止？

A.压力过低

B.水分冷凝导致设备腐蚀或工艺污染

C.温度过高

D.流量不足

6.洁净室中的压力控制系统，通常保持正压，其主要目的是？