CN112292477A 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 （Asm Ip私人控股有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN112292477A

(43)申请公布日2021.01.29

(21)申请号201980041932.1

(22)申请日2019.06.21

(30)优先权数据

62/690,4782018.06.27US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.12.22

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/IB2019/0008172019.06.21

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2020/003000EN2020.01.02

(71)申请人ASMIP私人控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒

(72)发明人K.韦莱宁T.哈坦帕M.里塔拉M.莱斯凯拉

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105

代理人焦玉恒

(51)Int.Cl.

C23C16/06(2006.01)

C23C16/08(2006.01)

C23C16/18(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

G11B5/62(2006.01)

权利要求书2页说明书22页附图5页

(54)发明名称

用于形成含金属的材料的循环沉积方法及

包含含金属的材料的膜和结构

(57)摘要

CN112292477A公开了一种沉积含金属的材料的方法。所述方法可