CN119495648A 用于将eic组装到pic以构建光学引擎的方法 （安华高科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119495648A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202410905957.4

(22)申请日2024.07.08

(30)优先权数据

18/449,2532023.08.14US

(71)申请人安华高科技股份有限公司地址新加坡新加坡市

(72)发明人S·卡纳安N·马尔加利特

V·拉古拉曼V·拉古纳塔恩

(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287

专利代理师林斯凯

(51)Int.Cl.

H01L23/31(2006.01)

H01L23/48(2006.01)

H01L23/485(2006.01)

权利要求书3页说明书14页附图14页

(54)发明名称

用于将EIC组装到PIC以构建光学引擎的方

法

(57)摘要

CN119495648A本公开涉及一种用于将电子集成电路EIC组装到光子集成电路PIC以构建光学引擎的方法。本发明提供一种用于制备EIC以对光学引擎进行所述组装的方法。所述方法涉及通过正面到背面接合将基于CMOS的EIC晶片堆叠到短环路/中介层晶片上。这种堆叠式配置用作薄CMOS晶片的载体。随后，堆叠式晶片被向下减薄到所期望高度并经历最后通孔过程。在此过程中，来自所述短环路/中介