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CN119495602A 用于对基板的温度控制的方法和系统 （应用材料公司）.docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119495602A 用于对基板的温度控制的方法和系统 （应用材料公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495602A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202411394191.4

    (22)申请日2021.05.05

    (30)优先权数据

    16/867,3622020.05.05US

    (62)分案原申请数据

    202180032651.72021.05.05

    (71)申请人应用材料公司

    地址美国加利福尼亚州

    (72)发明人保罗·扎卡里·沃思基基什伊·尚

    米哈伊尔·塔拉布钦

    (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

    有限公司11006

    专利代理师徐金国吴启超

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