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CN119503810A 碳化硅的制备方法 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-07 发布于山西
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CN119503810A 碳化硅的制备方法 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119503810A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202311062016.0

    (22)申请日2023.08.22

    (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

    地址100176北京市大兴区经济技术开发

    区文昌大道8号

    (72)发明人张红娟

    (74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理

    有限公司11315

    专利代理师施敬勃

    (51)Int.Cl.

    C01B32/984(2017.01)

    权利要求书1页说明书4页附图2页

    (54)发明名称

    碳化硅的制备方法

    (57

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