CN119937235A 一种掩模图形确定方法、设备、介质及产品 （东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119937235A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510287654.5

(22)申请日2025.03.11

(71)申请人东方晶源微电子科技（北京）股份有

限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区经海四路156号院12号楼

(72)发明人张生睿俞宗强施伟杰姜鸿

王航宇王成瑾赵丰胜龚炎彬

(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理

有限责任公司11258

专利代理师杨永恒

(51)Int.Cl.

G03F1/36(2012.01)

G03F7/20(2006.01)