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半导体车间化学品输送管道颜色标识细则

一、标准概述

半导体车间化学品输送管道颜色标识体系以GB7231-2003《工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识》为核心框架，结合半导体行业高洁净度、高安全性的特殊要求构建而成。该体系通过颜色、符号和文字的组合标识，实现管道内介质类型、危险特性及工艺参数的可视化管理。在12英寸晶圆厂的复杂环境中，管道标识系统需满足每秒0.8米的气流速度下仍保持清晰可辨，同时兼容FFU（风机过滤单元）密集布置的空间限制，这要求标识方案在颜色对比度、字体大小和安装位置上进行针对性设计。

标准实施范围覆盖车间内所有地上管道，包括但不限于湿制程区的化学品输送主管、光刻胶供应支管、特气管道集群及废气处理系统。对于不锈钢管、PTFE（聚四氟乙烯）内衬管等本色管道，需采用色环与标牌组合标识；而PVC-U等塑料管道则可直接采用整体涂色方式。特别在Class1级洁净区，标识材料需满足ISO14644-1的微粒释放要求，且不得产生挥发性有机化合物（VOCs）污染。

二、具体颜色规定

（一）基础识别色体系

根据介质化学特性及工艺用途，管道基本识别色分为八大类，对应色标及应用场景如下：

水系统管道

超纯水（UPW）：艳绿色（G03），用于晶圆清洗工序的DIWater管道，管道外壁需标注UPW白色字体

工艺冷却水（PCW）：淡绿色（G04），区分于超纯水系统，回水管可增加白