管式炉和马弗炉专题.pptVIP

使用说明1管式炉用途：目前有大小两种管式炉，两者均能通氮气（惰性气氛）进行热处理实验；大炉子开始应用于CVD（化学气相沉积）。装置：气体流量；石英管；炉子。

使用说明2管式炉使用方法如图示，顺时针旋转解开lock，显示turnon的状态。按下右上角A/M键开始设置温度和时间，每设置好一个参数按下左上角按钮确定。程序升温即表示升温过程按设定参数进行，C01经过t01后达到C02，再经过t02达到C03，以此类推。设定的参数为起始/终止温度及其时间段。实验前要了解实验所需升温速率及保温时间设置参数完毕，同时按下第一排的两个按钮归位至起点，长按左下角RUN开启升温。

使用说明3气体流量装置流量装置可通入氢气，氮气，乙炔和甲烷（左到右）。目前使用：氮气和乙炔惰性气氛热处理，需要先氮气吹扫。开启流量装置和相应气体，将示数下的档位拨至清洗档即吹扫10min，再拨至阀控档即可开始升温。

使用说明4使用管式炉，石英管1)Fig1,石英管右端装有法兰，适当调整长度ab,以免管子产生应力损坏；承受温度≤900℃；2)Fig2,瓷舟内含KOH样品膨胀较大会引起样品受热区域的改变，可适当调整位置。可适当减少样品量减少KOH对石英管的腐蚀；3)Fig3,高温区域尽量避免管子可能腐蚀损坏的位置。另外，CVD系统单独使用石英管。

使用说明5马弗炉用途及使用方法马弗炉常用于制