CN119555210A 光谱模组、刻蚀终点检测装置及方法 （上海车仪田科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119555210A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510121063.0

(22)申请日2025.01.26

(71)申请人上海车仪田科技有限公司

地址201114上海市闵行区新骏环路138号

2幢102、202室

(72)发明人张黎明丁亮亮肖亦然郭军涛云燕午唐凯

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286

专利代理师黄海霞

(51)Int.Cl.

G01J3/28(2006.01)

G02B27/42(2006.01)

G02B27/44(2006.01)

G01J3/02(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图5页

(54)发明名称

光谱模组、刻蚀终点检测装置及方法

(57)摘要

CN119555210A本发明提供了一种光谱模组、刻蚀终点检测装置及方法，光谱模组包括壳体，壳体上设置有入光口，壳体内设置有光阑、准直镜、光栅、聚焦镜及探测器，入光口用于连接外接光纤或者使得光进入壳体的内部，光阑用于接收入光口处的光，准直镜用于反射来自光阑的光至光栅，光栅用于反射来自所述准直镜反射的光至聚焦镜，聚焦镜用于接收来自光栅的反射光并