材料设备选型清单及参考样板.docx

材料设备选型清单及参考样板

一、项目背景与选型原则

本项目为年产2×10?t高纯电子级氢氟酸装置，介质具有强腐蚀性、低电导率、高洁净度要求，操作温度?15℃～85℃，压力?0.09MPa～0.8MPa，连续运行8000h·a?1。选型以“工艺匹配、寿命周期成本最低、风险可控、交付周期最短”为总原则，具体细化如下：

1.材质与介质相容性优先：任何与HF液体或蒸汽接触的金属、非金属、密封元件，必须通过72h70℃浓氢氟酸浸泡失重＜0.2mg·cm?2，且不得出现应力腐蚀裂纹。

2.洁净度等级：颗粒≥0.5μm计数≤100pcs·mL?1，阴离子Cl?、NO??、SO?2