CN119563226A 微小元件、整列系统及安装方法 （东北微科技株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119563226A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202380012090.3

(22)申请日2023.06.02

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.11.30

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0206032023.06.02

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/247248JA2024.12.05

(71)申请人东北微科技株式会社地址日本宫城县

(72)发明人元吉真

(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240

专利代理师田喜庆

(51)Int.Cl.

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书33页附图18页

(54)发明名称

微小元件、整列系统及安装方法

(57)摘要

CN119563226A为一种整列系统，用于将相同尺寸、相同形状的多个微少元件(XiR(j-1)、XiRj、XiR(j+1)、……)配置于安装基板的预定的位置。具备包含捕捉单元的粗整列投入装置，所述捕捉单元具有多个捕捉探针(PiR(j-1)、PiRj、PiR(j+1)、……)及基底，所述多个捕捉探针分别具有由平面所成的捕捉面，在该捕捉面的各处设有磁力线施加部，所述基底以预先设定的排列图案分