CN119563225A 用于处理基板的方法和设备 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119563225A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202280096282.2

(22)申请日2022.07.05

(30)优先权数据

17/748,3292022.05.19US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.11.19

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2022/0360772022.07.05

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/224646EN2023.11.23

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人万一扬叶伟峰张书锚侯凯中吕疆周磊吴典晔

道格拉斯·龙

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯

江莹冰汪荣军唐先敏

哈伯特·冲

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图3页

(54)发明名称

用于处理基板的方法和设备

(57)摘要

CN119563225A本文提供了用于处理基板的方法和设备。例如，一种用于处理基板的方法包括在盖加热器与处理腔室的喷头之间或喷头与基板之间的区域中形成四氯化