CN119563231A 用于自基板去除钼氧化物的方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119563231A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202380053732.4

(22)申请日2023.07.24

(30)优先权数据

63/392,6552022.07.27US

17/961,1532022.10.06US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.14

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0284512023.07.24

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/025820EN2024.02.01

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人岑嘉杰王晓东凯文·卡舍菲尤适

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

H01L21/768(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图6页

(54)发明名称

用于自基板去除钼氧化物的方法

(57)摘要

CN119563231A执行用于从基板表面清洁氧化物的方法，而不影响基板上的低k介电材料或碳材料。在一些实施方式中，此方法可包含在生产线后段(BEOL)工艺中使用基于氯的浸泡来执行