CN119579610A 一种基于晶圆图生成缺陷类别和缺陷描述的方法及装置 （深圳智现未来工业软件有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119579610A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202510144104.8

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人深圳智现未来工业软件有限公司

地址518055广东省深圳市南山区西丽街

道西丽社区留仙大道创智云城1标段1栋D座2701

(72)发明人蔡雨桐杜云峰白肖艳夏敏易丛文管健

(74)专利代理机构北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙)11309

专利代理师周良玉

(51)Int.Cl.

G06T7/00(2017.01)

G06T5/50(2006.01)

G06V10/74(2022.01)

G06V10/764(2022.01)

G06V10/80(2022.01)

G06V10/82(2022.01)

G06N3/0442(2023.01)

G06N3/045(2023.01)

G06N3/08(2023.01)

权利要求书2页说明书9页附图3页

(54)发明名称

一种基于晶圆图生成缺陷类别和缺陷描述

的方法及装置

(57)摘要

CN119579610A本发明涉及一种基于晶圆图生成缺陷类别和缺陷描述的方法及装置，方法包括：获取目标晶圆的缺陷视图、放大视图和顶视