原创力文档在洁净室环境中
监测晶圆厂化学品的浓度
维萨拉K-PATENTS®半导体行业用折光仪PR-33-S
SB:PR-33-S/7
2020年7月
应用
半导体行业用折光仪PR-33-S可实时监测超净半
导体制造工艺和集成工艺设备中液体化学品浓度
的一致性。PR-33-S的典
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