CN119618108A 镀膜机用工件装载板倾斜检测系统、方法和镀膜设备 （光驰科技(上海)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119618108A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202311151816.X

(22)申请日2023.09.07

(71)申请人光驰科技（上海）有限公司

地址200436上海市宝山区宝山城市工业

园区城银路267，297号

(72)发明人程松秦纯超邢涛

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332

专利代理师侯军洋

(51)Int.Cl.

G01B11/26(2006.01)

G06T7/00(2017.01)

G06T5/94(2024.01)

G06T5/20(2006.01)

G06T7/13(2017.01)

G06T7/70(2017.01)

权利要求书2页说明书8页附图4页

(54)发明名称

镀膜机用工件装载板倾斜检测系统、方法和

镀膜设备

(57)摘要

CN119618108A本发明公开一种镀膜机用工件装载板倾斜检测系统、方法和镀膜设备，该系统包括：参照模块，设置于真空腔内；图像采集模块，用于对工件装载板和参照模块进行同步采集，得到图像数据；其中，图像数据包括参照模块的第一特征区域和工件装载板的第二特征区域；图像处理模块，用于对第一特征区域和第二特征区域进行图像处理，图像处理至少包括：边缘提