CN119620544A 感光性树脂组合物及干膜，感光性干膜、抗蚀剂膜、带铸模基板及镀覆造型物的制造方法 （东京应化工业株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119620544A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510043128.4

(22)申请日2019.12.25

(30)优先权数据

2018-2432332018.12.26JP

2019-2010642019.11.05JP

(62)分案原申请数据

201980084592.02019.12.25

(71)申请人东京应化工业株式会社地址日本国神奈川县

(72)发明人片山翔太海老泽和明

(74)专利代理机构上海立群专利代理事务所(普通合伙)31291

专利代理师毛立群

(51)Int.Cl.

G03F7/004(2006.01)

G03F

G03F

H05K

7/039(2006.01)

7/20(2006.01)

3/18(2006.01)

权利要求书6页说明书80页

(54)发明名称

感光性树脂组合物及干膜，感光性干膜、抗蚀剂膜、带铸模基板及镀覆造型物的制造方法

(57)摘要

CN119620544A本发明提供用于利用h线的曝光且镀覆液抗性及裂纹抗性优异的化学放大型正型感光性树脂组合物；具备由化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜；及感光性干膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜、使