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芯片封测制造项目量测数据分析与SPC方案.docx

芯片封测制造项目量测数据分析与SPC方案.docx

    芯片封测制造项目量测数据分析与SPC方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、方案总则 3

    二、目标与适用范围 5

    三、制程对象与关键特性 7

    四、量测数据分类与来源 9

    五、数据采集流程 11

    六、量测系统与设备管理 14

    七、抽样原则与频率设置 15

    八、数据清洗与预处理 17

    九、数据完整性与校验 19

    十、量测偏差与重复性评估 22

    十一、关键参数分布特征 25

    十二、制程波动识别方法 28

    十三、控制图类型与选用 31

    十四、控制界限设定方法 33

    十五、过程能力分析方法 35

    十六、异常点识别与判定 3

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