GB/T 42709.3-2026半导体器件 微电子机械器件 第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片.pdf

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  •   |  2026-04-30 颁布
  •   |  2026-11-01 实施

GB/T 42709.3-2026半导体器件 微电子机械器件 第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片.pdf

ICS31.200

CCSL40

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT42709.32026IEC62047-32006

半导体器件微电子机械器件

:

第部分拉伸试验用薄膜标准试验片

3

——

SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices

:

Part3Thinfilmstandardtestiecefortensiletestin

pg

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