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- 2026-06-05 发布于北京
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第三章单极型半导体器件;绝缘栅场效应晶体管
(金属-绝缘体-半导体场效应晶体管)
(金属-氧化物-半导体场效应晶体管)
(IGFET:MISFET,MOSFET):表面场效应晶体管。
基本结构
金属-半导体结构(M-S结构)。
金属–氧化物–半导体结构(MOS结构)。;3.1金属–半导体接触;
半导体功函数为:(3-2)
因此,与掺杂情况有关。
电子亲和能:
半导体导带底电子逸出到真空中所需的最小能量。
(3-3)
式中称为电子亲和势,与掺杂无关,仅由材料决定。
空间电荷区;能带结构(Al-n-Si)
;能带弯曲,形成势垒。;势垒
阻挡层(肖特基势垒):对多子其阻挡作用(电阻高)
反阻挡层(肖特基势阱):对多子起“反”阻挡作用(电阻低)
由式(2-32)得出,肖特基势垒宽度为:
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