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296数控机床SINUMERIK系统模块化维修

图3-84四场扫描玻璃透射光栅原理及结构示意图

a）测量系统原理示意图b）封闭式直线光栅尺结构示意图

用4倍频的细分电路，即莫尔条纹由原来的1个节距变成4个相位依次滞后90°的信号，从而将

精度提高4倍。若光栅栅距为0.01mm且工作台每移动0.025mm就送出1个脉冲，则光栅的分辨

栅距

率为0.025mm。由此可见，光栅的分辨率取决于栅距和鉴相倍频的倍数n，即分辨率=。其

n

中n=4、10、12甚至50、100或更高。

（3）莫尔条纹的形成光栅尺的读数是利用莫尔条纹的

形成原理进行的。图3-85中，2块栅距相同、黑白宽度相同

（W=π/2）的标尺光栅和指示光栅尺面平行放置，中间保持

0.01～0.1mm的间隙，