CN119666744A 一种检测系统的控制方法 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119666744A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202411856046.3

(22)申请日2024.12.16

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518110广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人陈鲁尉佩马砚忠郁健袁明波

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师柳虹

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/84(2006.01)

G01J1/00(2006.01)

权利要求书4页说明书14页附图4页

(54)发明名称

一种检测系统的控制方法

(57)摘要

CN119666744A本申请提供一种检测系统的控制方法，检测系统包括照明模块、第一检测设备，以及照明模块和第一检测设备之间的分光模块和第一功率调整模块，照明模块用于提供照明光束，第一检测设备用于对第一待测表面进行检测得到第一检测信号，分光模块用于对照明光束进行分光得到第一子光束和第二子光束，基于第一子光束可以对第一检测设备进行照亮，基于第二子光束可以进行光功率检测，因此可以兼顾照亮和光检测，在实际光功率超出预设范围时，调整透过所述第