CN119672388A 基于深度学习的晶圆扎针针痕识别方法和识别装置 （广东华矽半导体设备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119672388A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202311216613.4

(22)申请日2023.09.19

(71)申请人广东华矽半导体设备有限公司

地址523000广东省东莞市松山湖园区新

竹路4号11栋1单元101室

(72)发明人张绍辉梁经伦张文涛蒋泉生

(74)专利代理机构广东中科小顶知识产权代理事务所(普通合伙)44926

专利代理师吴道耀

(51)Int.Cl.

G06V10/764(2022.01)

G06V10/20(2022.01)

G06V10/22(2022.01)

G06V10/34(2022.01)

G06T7/00(2017.01)

权利要求书2页说明书6页附图3页

(54)发明名称

基于深度学习的晶圆扎针针痕识别方法和

识别装置

(57)摘要

CN119672388A本发明提供一种基于深度学习的晶圆扎针针痕识别方法和识别装置，其中，扎针针痕识别方法包括以下步骤：步骤S1：获取晶圆上的扎针区域图像；步骤S2：对扎针区域图像进行预处理，以突出扎针区域图像内的针痕，得到针痕标准图像；步骤S3：采集多张针痕区域图像，对采集的各针痕区域图像进行图像增强，以进行模型训练，得到训练后的针